柱上真空断路器操作简单、使用方便、维修工作量小是真空断路器的优点之一。真空断路器的灭弧室本身是无需维修的。真空断路器只要按照要求安装和调整后便可投入运行，运行前对灭弧室进行一次真空度的检查。平时的维护就很简单了，只要求：
1、保持柱上真空断路器的清洁，特别应注意及时清理绝缘子、绝缘杆和其他绝缘件的灰尘；对于真空灭弧绝缘外壳上的灰尘应用洁净的干布擦拭，凡是活动摩擦的部位，均应保持有干净的润滑油，使操动机构动作灵活，减少机械磨损。
2、磨损较为严重的零件要及时给予更换，所有的紧固件均应定期检查，防止松脱。
3、经常观察真空灭弧室开断电流时的颜色，如有怀疑应进行真空度检查，发现真空度不满足zui低工作真空度要求时，应及时更换。
4、经常观察接触行程量，若与规定值偏差过大，应及时调整。接触行程量的变化就是灭弧室触头的磨损量，因此每次接触行程调整后必须进行记录，累计达到触头磨损厚度时，应更换灭弧室。灭弧室的更换必须注意要用同型号的灭弧室，用户一般不能轻易用其他型号的灭弧室代替。若要代替必须同有关专业人员商量和研究。
柱上真空断路器运行过程中的全面检查和调整要视使用场合和操作频繁程度而定。对于那些操作并不频繁，具体地说，每年操作次数不超过机械寿命的五分之一，则在寿命期间内，每年至少进行一次检查。
如果操作次数较为频繁，那么在两次检查之间的操作次数不宜超过其机械寿命的五分之一。对于操作极为频繁或机械寿命、电寿命临近终了的场合，检查周期应适当缩短。检查和调整的项目除了真空度检查、开距和接触行程检查、触头压力检查、三相同步性能检查、分、合闸速度检查外，还有操动机构各部分检查以及外部电气连接和绝缘检查，包括控制电源辅助触点等。每次检查与调整一般都不要大拆大卸，切勿任意改变其相对位置。
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